آب فوق خالص (به انگلیسی: Ultrapure Water)  آب‌های خالص تر از آب مقطر که هدایت الکتریکی آنها کمتر از ۲ میکرو زیمنس بر سانتیمتر باشد اطلاق می‌شود. حداکثر خلوص آب ازنظر هدایت الکتریکی تا ۰٫۰۵۶ میکرو زیمنس می‌تواند برسد. غالباً در زمان کنترل آب خالص بجای محاسبه هدایت الکتریکی از واحد مقاومت الکتریکی ...